[实用新型]一种基于磁控溅射技术的钢球镀膜夹具装置有效
| 申请号： | 201520279752.6 | 申请日： | 2015-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN204608153U | 公开（公告）日： | 2015-09-02 |
| 发明（设计）人： | 贾贵西;胡鹏飞;王海霞;赵海军 | 申请（专利权）人： | 洛阳理工学院 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 471000 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型是有关于一种基于磁控溅射技术的钢球镀膜夹具装置，包含底板、立柱、钢球镀膜盘、旋转主轴、连接轴、滑块以及圆锥台，其中立柱固设在底板上，且其上部有空腔；钢球镀膜盘与定位构件紧固连接，该定位构件嵌装在立柱上的空腔内，且该定位构件与所述空腔之间有间距；旋转主轴固定在底板上，且其下端与该磁控溅射设备的旋转主轴对接；连接轴水平固定在旋转主轴上；圆锥台连接在连接轴上，且该圆锥台与钢球镀膜盘的底面相接触，并使钢球镀膜盘倾斜；以及滑块设在底板上临近立柱的地方，且该滑块固定在磁控溅射设备的相应轨道上。本实用新型钢球镀膜夹具装置使得托盘内的钢球同时作公转和自转运动，使得钢球表面的镀层均匀、稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 磁控溅射 技术 镀膜 夹具 装置 | ||
【主权项】：
一种基于磁控溅射技术的钢球镀膜夹具装置，包含底板、立柱、钢球镀膜盘、旋转主轴、连接轴、滑块以及圆锥台，其特征在于：所述立柱固设在底板上，且其上部有空腔；所述的钢球镀膜盘与定位构件紧固连接，该定位构件嵌装在立柱上的空腔内，且该定位构件与所述空腔之间有间距；所述的旋转主轴固定在底板上，且其下端与该磁控溅射设备的旋转主轴对接；所述的连接轴水平固定在旋转主轴上；所述的圆锥台连接在连接轴上，且该圆锥台与钢球镀膜盘的底面相接触，并使钢球镀膜盘倾斜；以及所述的滑块设在底板上临近立柱的地方，且该滑块固定在磁控溅射设备的相应轨道上。
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