[实用新型]机电反馈控制移相干涉仪有效
| 申请号： | 201520278052.5 | 申请日： | 2015-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN204881512U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 林燕彬 | 申请（专利权）人： | 林燕彬 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350200 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种机电反馈控制移相干涉仪，主要包括激光器(1)、扩束系统(2)、多个分束镜、CCD(6)、参考镜(8)和压电陶瓷驱动器(9)，其中，多个分束镜包括第一分束镜(3)和第二分束镜(4)，第一分束镜(3)设置在扩束系统(2)后侧，第二分束镜(4)对应第一分束镜(3)设置，被测件(11)设置在第一分束镜(3)后侧。本实用新型提供的机电反馈控制移相干涉仪通过对振动造成的光程差的变化进行探测，并利用光源波长变化等方法加以实时的反馈补偿，使干涉图保持稳定，从而消除振动的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 机电 反馈 控制 相干 | ||
【主权项】：
一种机电反馈控制移相干涉仪，其特征在于：所述机电反馈控制移相干涉仪主要包括激光器(1)、扩束系统(2)、多个分束镜、CCD(6)、参考镜(8)和压电陶瓷驱动器(9)，其中，多个分束镜包括第一分束镜(3)和第二分束镜(4)，第一分束镜(3)设置在扩束系统(2)后侧，第二分束镜(4)对应第一分束镜(3)设置，被测件(11)设置在第一分束镜(3)后侧。
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