[实用新型]精密测量干涉仪有效
| 申请号： | 201520278051.0 | 申请日： | 2015-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN204881511U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 林燕彬 | 申请（专利权）人： | 林燕彬 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350200 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种精密测量干涉仪，主要包括分光镜(2)、补偿镜(3)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)和透镜(6)，所述分光镜(2)、补偿镜(3)和第二反射镜(5)并排设置，所述第一反射镜(4)与第二反射镜(5)垂直设置，第一反射镜(4)与分光镜(2)对应，第一反射镜(4)和透镜(6)分别设置在分光镜(2)的两侧。本实用新型提供的精密测量干涉仪对光源的要求低，可以使用相干性较差的光源设置白光作为光源，并且该结构简单、调节和使用非常方便。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 测量 干涉仪 | ||
【主权项】：
一种精密测量干涉仪，其特征在于：所述干涉仪主要包括分光镜(2)、补偿镜(3)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)和透镜(6)，所述分光镜(2)、补偿镜(3)和第二反射镜(5)并排设置，所述第一反射镜(4)与第二反射镜(5)垂直设置，第一反射镜(4)与分光镜(2)对应，第一反射镜(4)和透镜(6)分别设置在分光镜(2)的两侧。
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