[实用新型]等厚干涉仪扩展光源

摘要

本实用新型涉及一种等厚干涉仪扩展光源，主要包括激光发射器(1)、光阑(2)和准直透镜(3)，所述光阑(2)设置在激光发射器(1)和准直透镜(3)之间，光阑(2)与准直透镜(3)的距离为准直透镜(3)的焦距，光阑(2)设置在准直透镜(3)的前焦平面上。光阑(2)为圆孔光阑。激光发射器(1)发射的光源经过光阑(2)和准直透镜(3)后变成与光轴成不同夹角的平行光束。本实用新型提供的等厚干涉仪扩展光源运用了环形光源技术，可进行波纹抑制，消除了因干涉腔内存在细小颗粒所引起的寄生条纹，提高了干涉仪的测量精度。

主权项

一种等厚干涉仪扩展光源，其特征在于：所述扩展光源主要包括激光发射器(1)、光阑(2)和准直透镜(3)，所述光阑(2)设置在激光发射器(1)和准直透镜(3)之间，光阑(2)与准直透镜(3)的距离为准直透镜(3)的焦距，光阑(2)设置在准直透镜(3)的前焦平面上；所述光阑(2)为圆孔光阑；所述激光发射器(1)发射的光源经过光阑(2)和准直透镜(3)后变成与光轴成不同夹角的平行光束；所述激光发射器(1)为均匀激光发射器；所述光阑(2)的小孔中心与准直透镜(3)的中心都处在激光发射器(1)的激光光轴上。