[实用新型]等厚干涉仪扩展光源有效
申请号: | 201520271270.6 | 申请日: | 2015-04-27 |
公开(公告)号: | CN205066679U | 公开(公告)日: | 2016-03-02 |
发明(设计)人: | 林永东 | 申请(专利权)人: | 林永东 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 350200 *** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型涉及一种等厚干涉仪扩展光源,主要包括激光发射器(1)、光阑(2)和准直透镜(3),所述光阑(2)设置在激光发射器(1)和准直透镜(3)之间,光阑(2)与准直透镜(3)的距离为准直透镜(3)的焦距,光阑(2)设置在准直透镜(3)的前焦平面上。光阑(2)为圆孔光阑。激光发射器(1)发射的光源经过光阑(2)和准直透镜(3)后变成与光轴成不同夹角的平行光束。本实用新型提供的等厚干涉仪扩展光源运用了环形光源技术,可进行波纹抑制,消除了因干涉腔内存在细小颗粒所引起的寄生条纹,提高了干涉仪的测量精度。 | ||
搜索关键词: | 干涉仪 扩展 光源 | ||
【主权项】:
一种等厚干涉仪扩展光源,其特征在于:所述扩展光源主要包括激光发射器(1)、光阑(2)和准直透镜(3),所述光阑(2)设置在激光发射器(1)和准直透镜(3)之间,光阑(2)与准直透镜(3)的距离为准直透镜(3)的焦距,光阑(2)设置在准直透镜(3)的前焦平面上;所述光阑(2)为圆孔光阑;所述激光发射器(1)发射的光源经过光阑(2)和准直透镜(3)后变成与光轴成不同夹角的平行光束;所述激光发射器(1)为均匀激光发射器;所述光阑(2)的小孔中心与准直透镜(3)的中心都处在激光发射器(1)的激光光轴上。
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