[实用新型]等厚干涉仪扩展光源有效

专利信息
申请号: 201520271270.6 申请日: 2015-04-27
公开(公告)号: CN205066679U 公开(公告)日: 2016-03-02
发明(设计)人: 林永东 申请(专利权)人: 林永东
主分类号: G01B9/02 分类号: G01B9/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 350200 *** 国省代码: 福建;35
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型涉及一种等厚干涉仪扩展光源,主要包括激光发射器(1)、光阑(2)和准直透镜(3),所述光阑(2)设置在激光发射器(1)和准直透镜(3)之间,光阑(2)与准直透镜(3)的距离为准直透镜(3)的焦距,光阑(2)设置在准直透镜(3)的前焦平面上。光阑(2)为圆孔光阑。激光发射器(1)发射的光源经过光阑(2)和准直透镜(3)后变成与光轴成不同夹角的平行光束。本实用新型提供的等厚干涉仪扩展光源运用了环形光源技术,可进行波纹抑制,消除了因干涉腔内存在细小颗粒所引起的寄生条纹,提高了干涉仪的测量精度。
搜索关键词: 干涉仪 扩展 光源
【主权项】:
一种等厚干涉仪扩展光源,其特征在于:所述扩展光源主要包括激光发射器(1)、光阑(2)和准直透镜(3),所述光阑(2)设置在激光发射器(1)和准直透镜(3)之间,光阑(2)与准直透镜(3)的距离为准直透镜(3)的焦距,光阑(2)设置在准直透镜(3)的前焦平面上;所述光阑(2)为圆孔光阑;所述激光发射器(1)发射的光源经过光阑(2)和准直透镜(3)后变成与光轴成不同夹角的平行光束;所述激光发射器(1)为均匀激光发射器;所述光阑(2)的小孔中心与准直透镜(3)的中心都处在激光发射器(1)的激光光轴上。
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