[实用新型]镀膜机真空系统新型结构有效
| 申请号： | 201520176377.2 | 申请日： | 2015-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN204529973U | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 刘佩杰 | 申请（专利权）人： | 青州市宝丰镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 龚燮英 |
| 地址： | 262515 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种镀膜机真空系统新型结构，其泵系统二级罗茨泵共3个，并列设置在真空室一侧，二级罗茨泵通过进气管与真空室相连通；前级罗茨泵共2个，分别为高真空前级罗茨泵和低真空前级罗茨泵，高、低真空前级罗茨泵并列设置在二级罗茨泵一侧；滑阀真空泵共4个，其中1组对高真空的滑阀真空泵并列设置在高真空前级罗茨泵一侧，另1组对低真空的滑阀真空泵并列设置在低真空前级罗茨泵一侧，高、低真空滑阀真空泵与高真空前级罗茨泵之间，以及高真空前级罗茨泵之间，均设有排气管。本实用新型泵系统排列整齐、占用空间小，缩短了空气分子的路径和行程，提高抽空效率和系统更可靠，提高整机寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 真空 系统 新型 结构 | ||
【主权项】：
一种镀膜机真空系统新型结构，包括真空室(7)、泵系统和中间连接管路，其特征是：所述泵系统包括二级罗茨泵(1)、前级罗茨泵(2)和滑阀真空泵(3)，其中所述二级罗茨泵(3)共3个，并列设置在所述真空室(7)一侧，二级罗茨泵(3)通过进气管与所述真空室(7)相连通；所述前级罗茨泵(2)共2个，分别为高真空前级罗茨泵(201)和低真空前级罗茨泵(202)，高、低真空前级罗茨泵(201、202)并列设置在所述二级罗茨泵(2)一侧；所述滑阀真空泵(3)共4个，包括2个高真空滑阀真空泵(301)和2个低真空滑阀真空泵(302)，其中1组对高真空的滑阀真空泵(301)并列设置在所述高真空前级罗茨泵(201)一侧，另1组对低真空的滑阀真空泵(301)并列设置在所述低真空前级罗茨泵(202)一侧，高、低真空滑阀真空泵(301、302)与高真空前级罗茨泵(201)之间，以及高真空前级罗茨泵(202)之间，均设有排气管(4)。
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