[实用新型]离子源三维联动机构

摘要

本实用新型公开了一种离子源三维联动机构，包括：Y轴调节装置、安装在所述Y轴调节装置上的Z轴调节装置、倾斜安装在所述Z轴调节装置上的X轴调节装置以及安装在所述X轴调节装置上的离子源装置；所述X轴调节装置包括X轴基座、X轴升降滑槽部件、离子源X轴斜滑槽部件，通过安装在所述X轴升降滑槽部件内的离子源装置上的固定部件穿过滑槽并至斜滑槽并随着斜滑槽围绕离子源X轴斜滑槽部件中心的转动，带动离子源装置的运动。本实用新型可以通过调节Y轴调节装置、Z轴调节装置以及X轴调节装置来调节离子源与锥口的相对位置，达到使数量更多的离子化效果更理想的离子进入锥口的目的，以获得更强的信号。

主权项

一种离子源三维联动机构，其特征在于，包括：Y轴调节装置、安装在所述Y轴调节装置上的Z轴调节装置、倾斜安装在所述Z轴调节装置上的X轴调节装置以及安装在所述X轴调节装置上的离子源装置；所述Y轴调节装置包括Y轴底座、Y轴导向部件、Y轴调节部件，所述Y轴底座与所述Y轴导向部件滑动联接安装且一侧与所述Y轴调节部件相联；所述Z轴调节装置包括Z轴底座、Z轴导向部件、Z轴调节部件，所述Z轴底座与所述Z轴导向部件滑动联接安装且一侧与所述Z轴调节部件相联，所述Z轴导向部件与所述Y轴底座联接；所述X轴调节装置包括X轴基座、X轴升降滑槽部件、离子源X轴斜滑槽部件，所述X轴基座为一内有腔室结构且通过底部安装在所述Z轴底座上，所述X轴升降滑槽部件为外壁具有沿外壁具纵向升降的滑槽的圆筒结构，所述离子源X轴斜滑槽部件为外壁具有围绕外壁形成沿外壁纵向升降的斜滑槽的圆筒结构，所述X轴升降滑槽部件安装在所述离子源X轴斜滑槽部件内部，所述X轴升降滑槽部件安装在所述X轴基座的顶部，所述离子源装置安装在所述X轴升降滑槽部件内并具有穿过所述滑槽并至所述斜滑槽的与自身固定联接的固定部件。