[实用新型]一种多通道闸板阀

摘要

本实用新型涉及高真空或超高真空环境中使用的闸板阀，具体地说是一种多通道闸板阀，包括压片、隔离板、一维驱动器及滑片，隔离板位于真空腔体上，压片安装在隔离板上，滑片容置于压片与隔离板之间，在滑片上沿移动方向均布有多个通孔，隔离板上沿滑片的移动方向均布有多个用于联系其他真空腔体的连接孔；滑片与安装在真空腔体上的一维驱动器相连、通过一维驱动器的驱动往复移动，通过滑片的移动，滑片上任一通孔与隔离板上排序相同的连接孔相连通的同时，隔离板上其他连接孔被滑片遮挡，实现隔离板两边不同真空腔室之间的连通。本实用新型结构简单，实用，具有多通道，可以分别单独使用，也可以全部通道都关闭。

主权项

一种多通道闸板阀，其特征在于：包括压片(1)、隔离板(3)、一维驱动器(5)及滑片(6)，其中隔离板(3)位于真空腔体上，所述压片(1)安装在该隔离板(3)上，所述滑片(6)容置于压片(1)与隔离板(3)之间，在该滑片(6)上沿移动方向均布有多个通孔，所述隔离板(3)上沿滑片(6)的移动方向均布有多个用于联系其他真空腔体的连接孔；所述滑片(6)与安装在所述真空腔体上的一维驱动器(5)相连、通过该一维驱动器(5)的驱动往复移动，通过所述滑片(6)的移动，该滑片(6)上任一通孔与所述隔离板(3)上排序相同的所述连接孔相连通的同时，该隔离板(3)上其他连接孔被所述滑片(6)遮挡，实现所述隔离板(3)两边不同真空腔室之间的连通。