[实用新型]连续型同步镀膜设备

摘要

一种连续型同步镀膜设备，包含：一个真空腔体、n个阴极溅镀靶组合、多个载具，及一个传输机构。该真空腔体包括沿一排列方向依序轮流设置的(n+1)个缓冲区间及n个镀膜区间，n≥2且是正整数。各阴极溅镀靶组合分别对应设置在各镀膜区间且具有至少一种靶材。所述载具分别载放一个待镀物，且分别能被控制地于该多个镀膜区间和该多个缓冲区间移动。该传输机构是于所述缓冲区间、所述镀膜区间连续地设置，用以传输所述载具进行各镀膜程序。借由该真空腔体内的所述缓冲区间与所述镀膜区间的结构改良并配合所述载具的配置，令各载具可同时于各镀膜区间内执行各镀膜程序，以妥善地利用每一个镀膜区间。

主权项

一种连续型同步镀膜设备，包含：一个真空腔体、n个阴极溅镀靶组合，及一传输机构；其特征在于：该连续型同步镀膜设备还包含多个载具，该真空腔体，包括(n+1)个缓冲区间，及n个镀膜区间，所述缓冲区间与所述镀膜区间是沿一排列方向依序轮流设置，n≧2且是正整数；所述阴极溅镀靶组合分别对应设置在该n个镀膜区间，每一阴极溅镀靶组合具有至少一种靶材；所述载具分别载放一个待镀物，且分别能被控制地于该多个镀膜区间和该多个缓冲区间移动，其中，每一载具于各镀膜区间中执行一镀膜程序时，能于各镀膜区间与各镀膜区间前后的缓冲区间三者间移动；及该传输机构设置于该真空腔体，且于所述缓冲区间、所述镀膜区间连续地设置，用以传输所述载具进行各镀膜程序。