[实用新型]一种旋转样品台

摘要

本实用新型提供一种旋转样品台，包括公转台，公转台在第一驱动装置的驱动下绕公转轴线旋转，与公转轴线相距一定距离设置的至少一个样品台，样品台通过固定于公转台上的第一支撑件支撑，并通过位于公转台上的自转传动件驱动自转，自转传动件通过第二驱动装置驱动；样品台具有用于承载工件的承载部及与自转传动件连接的连接部，自转传动件可轴向伸缩以推拉连接部，并进而推拉样品台相对第一支撑件转动，从而调整承载部的倾斜角度。本实用新型的旋转样品台不仅能够使工件相对材料源进行公转、自转以及行星式公自转，还能根据工件形状调整承载部的倾斜角度，从而调整工件的某一个或某些面正对材料源，使具有复杂表面的工件也能镀上厚度均匀的膜。

主权项

一种旋转样品台，其特征在于：包括公转台（1），所述公转台（1）在第一驱动装置的驱动下绕公转轴线旋转，与所述公转轴线相距一定距离设置的至少一个样品台（2），所述样品台（2）通过固定于所述公转台（1）上的第一支撑件（3）支撑，并通过位于所述公转台（1）上的自转传动件（4）驱动自转，所述自转传动件（4）通过第二驱动装置驱动；所述样品台（2）具有用于承载工件的承载部（21）及与所述自转传动件（4）连接的连接部（22），所述自转传动件（4）可轴向伸缩以推拉所述连接部（22），并进而推拉所述样品台（2）相对所述第一支撑件（3）转动，从而调整所述承载部（21）的倾斜角度。