[实用新型]一种蚀刻机有效
| 申请号： | 201520100000.9 | 申请日： | 2015-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN204509462U | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 裴文龙 | 申请（专利权）人： | 菏泽力芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京恒都律师事务所 11395 | 代理人： | 李向东 |
| 地址： | 274000 山东省菏泽市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蚀刻机，在机箱内设置有蚀刻槽和冲水槽，在机箱内安装有蚀刻槽自循环管路，在蚀刻槽内设置有第一制冷盘管，在自循环管路中安装有循环泵，自循环管路分别与蚀刻槽的上下端相连接。本实用新型保护蚀刻槽中上下温度一致，提高了腐蚀均匀性和腐蚀速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种蚀刻机，在机箱(1)内设置有蚀刻槽(5)和冲水槽(6)，其特征在于，在机箱(1)内安装有蚀刻槽(5)自循环管路(11)，在蚀刻槽(5)内设置有第一制冷盘管(14)，在自循环管路(11)中安装有循环泵(13)，自循环管路(11)分别与蚀刻槽(5)的上下端相连接。
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