[实用新型]一种晶体硅生长装置

摘要

一种晶体硅生长装置，包括有固定底座、保温外桶、保温内桶、中轴托杆、加热电极、加热器和水冷装置，保温外桶的上端口内侧面上设置有卡环，水冷装置卡放于卡环上，保温内桶设置于保温外桶内部，保温内桶与保温外桶之间填装有石墨毡层，保温内桶内部设置有隔热层，隔热层与保温内桶之间设置有一定的间隔距离，加热器设置于隔热层内部，加热器内侧面最下边缘位置以加热器中心线为基准线左右对称设置有两个固定耳，固定耳上设置有电极固定孔，加热器内侧面上设置有导热层，加热电极固定在固定耳上设置的电极固定孔上，中轴托杆设置于固定底座中心位置，中心托杆上端设置有埚托，埚托上设置有坩埚，结构简单、热量散发稳定、热量流动均匀的优点。

主权项

一种晶体硅生长装置，包括有固定底座、保温外桶、保温内桶、中轴托杆、加热电极、加热器和水冷装置，其特征在于：所述的保温外桶的上端口内侧面上设置有卡环，所述的水冷装置卡放于卡环上，所述的保温内桶设置于保温外桶内部，所述的保温内桶与保温外桶之间填装有石墨毡层，所述的保温内桶内部设置有隔热层，所述的隔热层与保温内桶之间设置有一定的间隔距离，所述的保温外桶侧壁上设置有抽空孔，所述的抽空孔连通隔热层并与内部连通，且连通保温外桶并与外界连通，所述的加热器设置于隔热层内部，所述的加热器内侧面最下边缘位置以加热器中心线为基准线左右对称设置有两个固定耳，所述的固定耳上设置有电极固定孔，所述的加热器内侧面上设置有导热层，所述的加热电极固定在固定耳上设置的电极固定孔上，所述的中轴托杆设置于固定底座中心位置，所述的中心托杆上端设置有埚托，所述的埚托上设置有坩埚。