[实用新型]磁控镀膜机腔罩结构有效
| 申请号： | 201520063134.8 | 申请日： | 2015-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN204509451U | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 闫会朝;丁磊;李晓哲 | 申请（专利权）人： | 厦门玉通光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 戚东升 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市海*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种磁控镀膜机腔罩结构，包括机壳体，机壳体侧面开口用于机芯卷绕部分进出，机壳体内上部为收放区，下部为靶镀区，所述收放区与靶镀区均为弧状空间，收放区的内径大于靶镀区内径，靶镀区与收放区结合处形成向中心延伸的突台结构，机壳体的收放区侧壁设有深冷管，机壳体顶部设有气流通道。本实用新型机壳体的收放区与靶镀区设计合理，机芯卷绕部分可以伸入或拖出到机壳体真空室，具有结构合理、上下膜操作方便、镀膜效率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 机腔罩 结构 | ||
【主权项】：
一种磁控镀膜机腔罩结构，其特征在于：包括机壳体，机壳体侧面开口用于机芯卷绕部分进出，机壳体内上部为收放区，下部为靶镀区，所述收放区与靶镀区均为弧状空间，收放区的内径大于靶镀区内径，靶镀区与收放区结合处形成向中心延伸的突台结构，机壳体的收放区侧壁设有深冷管，机壳体顶部设有气流通道。
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