[实用新型]激光打标定位检测装置有效
申请号: | 201520040036.2 | 申请日: | 2015-01-20 |
公开(公告)号: | CN204506152U | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 邹武兵;张德安;禹刚;段家露;罗伟智;曾波 | 申请(专利权)人: | 深圳市韵腾激光科技有限公司 |
主分类号: | B41J3/407 | 分类号: | B41J3/407;B41J2/435 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 曾少丽 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种激光打标定位检测装置,用于对晶圆打标时的打标位置进行检测,包括装置本体、设置于所述装置本体上的用于检测所述晶圆的打标位置是否正确的定位检测组件及与所述定位检测组件相对应的用于放置待打标晶圆的打标承座结构,所述打标承座结构包括用于放置晶圆的承座、与所述承座相互配合的用于压住待打标晶圆的压板、与所述压板装配在一起的用于将压板顶起的压板驱动结构、装设于所述装置本体上的用于将晶圆托住并进行移动的托住结构,该激光打标定位检测装置可以准确确定晶圆的打标位置,使得晶圆打标过程中标记出来的字均匀、美观、无间隙与断隙。 | ||
搜索关键词: | 激光 标定 检测 装置 | ||
【主权项】:
激光打标定位检测装置,用于对晶圆打标时的打标位置进行检测,其特征在于:包括装置本体、设置于所述装置本体上的用于检测所述晶圆的打标位置是否正确的定位检测组件及与所述定位检测组件相对应的用于放置待打标晶圆的打标承座结构,所述打标承座结构包括用于放置晶圆的承座、与所述承座相互配合的用于压住待打标晶圆的压板、与所述压板装配在一起的用于将压板顶起的压板驱动结构、装设于所述装置本体上的用于将晶圆托住并进行移动的托住结构。
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