[发明专利]一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备及方法在审
| 申请号： | 201511033386.7 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105441908A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 上官泉元;谭兴波;庄正军;包振兴 | 申请（专利权）人： | 常州比太科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/513 | 分类号： | C23C16/513;C23C16/54;C30B33/12;F04B41/06 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 李进 |
| 地址： | 213164 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备，包括：用于硅片进行刻蚀工艺前抽真空的装载腔、用于将硅片完成刻蚀工艺后进行回填大气卸料的卸载腔、第一真空泵以及第二真空泵；装载腔与第一真空泵、第二真空泵连接，卸载腔与第一真空泵、第二真空泵连接。抽真空方法包括：总控制阀打开以实现第一真空泵、第二真空泵同时工作进行装载腔抽真空，抽真空完毕后总控制阀关闭，然后总控制阀再打开以实现第一真空泵、第二真空泵同时工作对卸载腔抽真空。在一个链式连续循环生产体系，装载腔和卸载腔交替抽真空和回填空气以达到在最少时间内完成装载和卸载工作。该发明使设备产能最高，操作方便，成本低，创造了显著的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 链式 法制 真空镀膜 真空设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备，其特征在于，包括：用于硅片进行刻蚀工艺前抽真空的装载腔、用于将硅片完成刻蚀工艺后进行回填大气卸料的卸载腔、第一真空泵以及第二真空泵；所述装载腔与所述第一真空泵、第二真空泵连接，所述卸载腔同与所述第一真空泵、第二真空泵连接。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
