[发明专利]一种红外探测器及其制备方法

摘要

本发明提供的红外探测器及其制备方法中，包括：提供一基板，所述基板表面具有反射层；形成牺牲层、接触线、热敏电阻层以及红外吸收层，所述牺牲层分别位于所述反射层与所述接触线之间、所述接触线与所述热敏电阻层之间以及所述热敏电阻层与所述红外吸收层之间；去除所述牺牲层，在所述接触线与所述反射层之间、所述热敏电阻层与所述接触线之间以及所述红外吸收层与所述热敏电阻层之间分别形成空腔。本发明中，采用多层牺牲层，最终将多层牺牲层去除，分别在红外探测器中形成多个空腔，增加了热敏电阻层的面积，使得红外探测器中的电阻可调，同时，增加了红外吸收层的面积，减小红外探测器的热容损失，提高了器件的整体性能。

主权项

1.一种红外探测器的制备方法，其特征在于，包括：提供一基板，所述基板表面具有反射层；形成牺牲层、接触线、热敏电阻层以及红外吸收层，所述牺牲层分别位于所述反射层与所述接触线之间、所述接触线与所述热敏电阻层之间以及所述热敏电阻层与所述红外吸收层之间；去除所述牺牲层，在所述接触线与所述反射层之间、所述热敏电阻层与所述接触线之间以及所述红外吸收层与所述热敏电阻层之间分别形成空腔。