[发明专利]一种辅助支撑装置及带有辅助支撑的光刻机设备

摘要

本发明提供一种使用于光刻机设备的辅助支撑装置，从上至下依次包括相互连接的弹性支撑装置、吸振部件以及驱动磁场装置，所述驱动磁场装置对所述弹性支撑装置具有相互排斥的力，使得所述弹性支撑装置支撑用于放置工件台的吊框。这样使用磁场力以及弹性装置来调节支撑的力量，保证了在垂直方向上的自由度，还具有能够吸附地基振动的吸振部件，因此既能够补偿工件台的支撑面型，又不会引入地基振动。本发明还提供一种带有上述辅助支撑的光刻机设备，包括：工件台、用于放置工件台的吊框，还包括n个上述辅助支撑装置，n为正整数；这样使用多个辅助支撑装置，能够根据其所在位置处的面型变化调节支撑的力量，从而更好地补偿工件台的支撑面型。

主权项

1.一种使用于光刻机设备的辅助支撑装置，用于支撑吊框，其特征在于，包括相互连接的弹性支撑装置、吸振部件以及驱动磁场装置，所述弹性支撑装置从上至下依次包括支撑导向件、支撑弹簧和弹簧导向件，所述支撑导向件与所述弹簧导向件套入所述支撑弹簧中，所述支撑导向件与所述吊框下底面接触，所述驱动磁场装置从上至下依次包括相互接触的连接板、直线电机以及支撑件，所述连接板的上底面与所述吸振部件的下底面相互接触，所述驱动磁场装置对所述弹性支撑装置具有相互排斥的力。