[发明专利]一种半导体超短脉冲高重频激光器

摘要

本发明公开了一种半导体超短脉冲高重频激光器，包括：激光器谐振腔(1)；激光器可饱和吸收区(2)和光子晶体反射镜(3)，其中，在激光器谐振腔(1)和饱和吸收区(2)之间设置有电隔离区(4)，用以将激光器谐振腔(1)和饱和吸收区(2)进行电隔离，光子晶体反射镜(3)设置在由激光器谐振腔(1)和激光器可饱和吸收区(2)组成的激光器主体的两端。本发明提供的半导体超短脉冲高重频激光器可灵活的改变激光腔目标反射波长、对应波长反射率和耦合输出功率等参数；设计灵活制作简便；通过普通光刻、刻蚀等标准光互连工艺即可制作，与光互连工艺兼容。

主权项

1.一种半导体超短脉冲高重频激光器，包括：激光器谐振腔(1)；激光器可饱和吸收区(2)和光子晶体反射镜(3)，其中，在激光器谐振腔(1)和饱和吸收区(2)之间设置有电隔离区(4)，用以将激光器谐振腔(1)和饱和吸收区(2)进行电隔离，光子晶体反射镜(3)设置在由激光器谐振腔(1)和激光器可饱和吸收区(2)组成的激光器主体的两端；该激光器两端连接有耦合波导(5)，其类型为条形波导、脊形波导、掩埋波导、楔形波导、弯曲波导、环形波导、光子晶体波导或其组合；光子晶体反射镜(3)是二维光子晶体或者一维光子晶体，二维光子晶体是四方晶格结构、六角晶格结构或准周期结构，一维光子晶体是脊形条上一维光子晶体结构或脊形条两侧一维光子晶体结构，光子晶体反射镜(3)的光子晶体对数是一对或者多对；其中，光子晶体反射镜(3)替代解理腔晶面为激光器共振腔提供激光反馈和耦合输出，半导体激光器产生的光通过两侧光子晶体反射镜(3)的反射，在腔内不断震荡形成激光激射；同时透过光子晶体反射镜(3)的透射光耦合进入耦合波导(5)，在耦合波导(5)内传播输出；通过向激光器谐振腔(1)加正向电流，向可饱和吸收区(2)加反向偏压，利用光脉冲相位相干效应产生高速短脉冲光序列，并通过光子晶体反射镜(3)输出进入耦合波导(5)内；在光互连芯片上，耦合波导(5)的后面连接光互连器件，形成光集成器件。