[发明专利]单片复合敏感电极的制造方法、基于其的敏感器件有效
| 申请号： | 201511017173.5 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN105540526B | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 陈德勇;邓涛;王军波;陈健;李光磊;孙振源 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81C1/00;G01P15/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了单片复合敏感电极的制造方法，还公开了基于该单片复合敏感电极的电化学加速度计敏感核心。本发明单片复合敏感电极基于硅片进行制作，加工完成后该硅片具有阳极面和阴极面，所述阳极面设有阳极，所述阴极面设有阴极。电化学加速度计敏感核心包含两对阴阳电极，组装时在两个单片复合电极之间放置一个O型弹性密封圈，通过机械压紧密封的方式完成两对阴阳电极的组装。这种将阴阳电极集成在同一个硅片的方法，不仅可以大大减少硅片数量从而大幅度降低组装难度，而且可以方便地改变阴阳极的间距从而优化器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 单片 复合 敏感 电极 制造 方法 基于 器件 | ||
【主权项】：
一种电化学加速度计敏感核心，其特征在于，包括两个叠在一起的敏感电极器件，所述敏感电极器件包括：单片复合敏感电极，其包括硅片，该硅片具有阳极面和阴极面，所述阳极面设有阳极，所述阴极面设有阴极；两个印刷电路板，一个印刷电路板组装到所述单片复合敏感电极的硅片的阳极面并与所述阳极连接，另一个印刷电路板组装到所述单片复合敏感电极的硅片的阴极面并与所述阴极连接；其中，两个单片复合敏感电极构成两个阴、阳电极对，排列的方式为阳极‑阴极‑阴极‑阳极；其中，在两个敏感电极器件之间放置一个弹性O形圈，通过机械压紧的方式保证弹性O形圈与两个敏感电极器件之间的密封性。
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