[发明专利]一种氧化铈制备方法及其在STI化学机械抛光中的应用有效
| 申请号： | 201510999608.4 | 申请日： | 2015-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN106915761B | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 尹先升;贾长征 | 申请（专利权）人： | 安集微电子科技（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | C01F17/10 | 分类号： | C01F17/10;C01F17/235;C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新区华东路*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化铈的制备方法及其在STI化学机械抛光中的应用，包括以下步骤：首先通过沉淀制备低晶态碳酸铈前驱体，进一步将低晶态碳酸铈前驱体转入高温水热条件下晶化得到晶态碳酸铈，进一步高温焙烧所制备碱式碳酸铈得到氧化铈粉体。在机械力作用下，该方法制得的氧化铈颗粒易分散于液相中。以该分散氧化铈为磨料的CMP抛光液，在STI抛光应用中显示出优良的平坦化抛光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 制备 方法 及其 sti 化学 机械抛光 中的 应用 | ||
【主权项】：
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