[发明专利]P型外延片生产中的电阻率监控方法

摘要

本发明公开了一种P型外延片生产中的电阻率监控方法，包括如下步骤：步骤一、采用和产品外延片相同工艺在测试外延片表面形成P型外延层。步骤二、对测试外延片进行测试预处理：步骤21、采用去离子水对形成P型外延层的表面进行冲洗并形成自然氧化膜。步骤22、进行甩干。步骤三、采用四探针测试仪对测试外延片的P型外延层进行电阻率测试。本发明能够减少测试误差，能够提高电阻率的测试效率，降低测试成本，同时相对能提高产品的生产效率和降低产品的生产成本。

主权项

1.一种P型外延片生产中的电阻率监控方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、采用和产品外延片的P型外延层相同的生产工艺在测试外延片表面形成P型外延层，通过所述测试外延片的P型外延层监控所述产品外延片的的P型外延层的电阻率；所述产品外延片的P型外延层的电阻率大于10欧姆·厘米；步骤二、在电阻率测试之前对所述测试外延片进行测试预处理，所述测试预处理包括分步骤：步骤21、采用去离子水对形成所述测试外延片的P型外延层的表面进行冲洗并形成自然氧化膜，用以在测试前去除所述测试外延片的P型外延层的表面的大量‑H，‑CH键；步骤22、对所述测试外延片进行甩干；步骤三、采用四探针测试仪对所述测试外延片的P型外延层进行电阻率测试；步骤三中测试得到的电阻率在所要求的范围时，测试成功，所述产品外延片继续生产；步骤三中测试得到的电阻率超出所要求的范围时，测试失败，所述产品外延片停止生产，并进行原因检测。