[发明专利]一种高精度陶瓷压力传感器

摘要

本发明公开了一种高精度陶瓷压力传感器，包括具有凹穴和多个导电通孔的陶瓷基板，以及结合于陶瓷基板的凹穴所在的那一侧的陶瓷薄片，凹穴的凹面上设置有测量电极和环绕测量电极的第一环形电极，陶瓷薄片与凹面相对的那一面上设置有移动电极和环绕移动电极的第二环形电极，测量电极、第一环形电极、移动电极和第二环形电极的引出端分别通过对应的导电通孔在陶瓷基板的与凹穴相反的另一侧引出，移动电极与测量电极构成测量电容，移动电极与的第一环形电极构成参考电容，第一环形电极和第二环形电极还通过导电通孔短接构成等电势面。本发明不需要引入第二种材料就可以把电极间距控制在很高的精度范围内，灵敏高、封接效果好。

主权项

1.一种高精度陶瓷压力传感器，其特征在于,包括具有凹穴和多个导电通孔的陶瓷基板，以及结合于所述陶瓷基板的凹穴所在的那一侧的陶瓷薄片，所述凹穴的凹面上设置有测量电极和环绕所述测量电极的第一环形电极，所述陶瓷薄片与所述凹面相对的那一面上设置有移动电极和环绕所述移动电极的第二环形电极，所述测量电极、所述第一环形电极、所述移动电极和所述第二环形电极的电极引出端分别通过对应的导电通孔在所述陶瓷基板的与所述凹穴相反的另一侧引出，所述移动电极与所述测量电极构成测量电容，所述移动电极与所述的第一环形电极构成参考电容，所述第一环形电极和所述第二环形电极还通过导电通孔短接构成等电势面；所述第一环形电极具有开口，所述测量电极从所述第一环形电极的开口向外引出测量电极引出端，所述第一环形电极在其开口的相对端向外引出第一环形电极第一引出端，所述第二环形电极具有开口，所述移动电极从所述第二环形电极的开口向外引出移动电极引出端，所述第二环形电极在其开口的相对端向外引出第二环形电极引出端，所述第一环形电极还向外引出第一环形电极第二引出端，所述第二环形电极引出端和所述第一环形电极第二引出端对齐并通过导电通孔短接以形成共同的电极引出端；所述第二环形电极引出端与所述移动电极引出端通过插入导电通孔的导电柱与所述导电通孔电连接,所述测量电极为与所述第一环形电极同心的圆形，所述移动电极为与所述第二环形电极同心的圆形，所述测量电极的直径＜所述移动电极的直径＜所述第一环形电极和所述第二环形电极的外径，所述第一环形电极和所述第二环形电极的外径相等并同心,所述凹穴的深度为40‑60μm,所述陶瓷基板的总厚度在2‑5mm，所述陶瓷薄片的厚度在0.3‑0.6mm,在所述移动电极和所述第二环形电极上覆盖有厚度在0.5‑1.0μm的介质层，所述测量电极、所述第一环形电极、所述移动电极和所述第二环形电极烧结后电极表面粗糙度小于0.3μm,厚度控制在0.5‑1.5μm,所述陶瓷基板在所述凹穴的外围与所述陶瓷薄片之间通过厚度在10‑12μm的玻璃薄膜烧结粘接为一体。