[发明专利]一种旋转对称未知非球面面形误差的测量方法及其测量装置

摘要

本发明公开了一种旋转对称未知非球面面形误差的测量方法及其测量装置，测量方法使用干涉仪沿待测非球面表面一经线方向进行逐点扫描采样，获得一组关于待测非球面空间坐标的数组L(x,z,t)，利用最小二乘拟合法计算获得所述待测非球面的顶点曲率半径R₀、二次项系数K和高次项系数A_n以及理想矢高面，使用干涉仪对所述待测非球面整个表面进行逐点扫描采样，获得测量矢高面，比较测量矢高面与理想矢高面获得面形误差，测量装置包括：气浮转台，调平调心工作台，二维运动台和T向旋转台，多波长干涉仪，龙门吊支架等。本发明具有测量精度高、测量偏离度大、测量种类多及非接触测量等优点。

主权项

一种旋转对称未知非球面面形误差的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：使用干涉仪沿待测非球面表面一经线方向进行逐点扫描采样，获得一组关于待测非球面空间坐标的数组L(x,z,t)，其中，所述数组L(x,z,t)中包含待测非球面的顶点空间坐标；依据所述数组L(x,z,t)，利用最小二乘拟合法计算获得所述待测非球面的顶点曲率半径R₀、二次项系数K和高次项系数A_n；依据所述待测非球面的顶点曲率半径R₀、二次项系数K和高次项系数A_n，计算获得所述待测非球面的理想矢高面；使用干涉仪对所述待测非球面整个表面进行逐点扫描采样，获得所述待测非球面的测量矢高面；将所述待测非球面的测量矢高面与所述待测非球面的理想矢高面进行比较，获得所述待测非球面的面形误差。