[发明专利]一种感光干膜抗蚀剂

摘要

本发明公开了一种低气味的感光干膜抗蚀剂，在保持感光干膜基本性能的前提下，解决强烈刺激性气味的问题。所述碱溶性树脂由18‐25重量份的甲基丙烯酸、35‐55重量份的甲基丙烯酸四氢糠基酯、10‐30重量份的甲基丙烯酸异辛酯、5‐20重量份的丙烯酸月桂酯通过悬浮聚合得到可光聚合化合物选用乙氧化乙烯基醚类单体，有效降低刺激性气味，从而降低或消除感光干膜抗蚀剂原有的臭味效果。同时感光干膜抗蚀剂其它性能如光敏性、解析度、附着力、机械强度等都不受影响。本发明的低气味感光干膜抗蚀剂有利于改善作环境，提高操作人员和下游企业的满意度，减少环境污染，具有显著的环境效益和社会价值。

主权项

1.一种感光干膜抗蚀剂，其特征在于，由60‑70重量份的碱溶性树脂、15‑40重量份的具有一个以上乙烯基不饱和基团的可进行光自由基聚合反应的化合物、0.1‑8重量份的光引发剂、0‑0.5重量份的添加剂组成；所述碱溶性树脂由18‑25重量份的甲基丙烯酸、35‑55重量份的甲基丙烯酸四氢糠基酯、10‑30重量份的甲基丙烯酸异辛酯、5‑20重量份的丙烯酸月桂酯通过悬浮聚合得到。