[发明专利]一种扫描电镜检测叶片辅助装置及其使用方法

摘要

本发明提供了一种扫描电镜检测叶片辅助装置及其使用方法，其中扫描电镜检测叶片辅助装置包括凹槽夹具、宽度垫片、高度垫片；所述凹槽夹具是截面为U形的条状块，凹槽夹具的两侧垂直板上设置有多个定位螺孔；所述凹槽夹具内底部水平放置有高度垫片，垂直放置有宽度垫片；所述宽度垫片、高度垫片和凹槽夹具长度相同，宽度垫片、高度垫片的厚度小于凹槽夹具任意一块板的厚度。本发明能有效实现对叶片的无损伤检测，避免对叶片进行切割，从而避免对伪缺陷叶片造成损伤，由此降低生产制造成本；便于操作，工作效率高，检测质量好。

主权项

一种扫描电镜检测叶片辅助装置，包括凹槽夹具(1)、宽度垫片(3)、高度垫片(4)，其特征在于：所述凹槽夹具(1)是截面为U形的条状块，凹槽夹具(1)的两侧垂直板上设置有多个定位螺孔(5)；所述凹槽夹具(1)内底部水平放置有高度垫片(4)，垂直放置有宽度垫片(3)；所述宽度垫片(3)、高度垫片(4)和凹槽夹具(1)长度相同，宽度垫片(3)、高度垫片(4)的厚度小于凹槽夹具(1)任意一块板的厚度。