[发明专利]一种多级调焦装置及方法在审
| 申请号: | 201510928932.7 | 申请日: | 2015-12-15 |
| 公开(公告)号: | CN105334707A | 公开(公告)日: | 2016-02-17 |
| 发明(设计)人: | 王维娟;刘涛;马强 | 申请(专利权)人: | 天津津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/207 | 分类号: | G03F7/207 |
| 代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 吴开磊 |
| 地址: | 300000 天津市经济技术开发区黄海路167号*** | 国省代码: | 天津;12 |
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| 摘要: | 本发明提供了一种多级调焦装置及方法,属于激光直接成像技术领域,应用于激光成像系统,所述多级调焦装置包括:楔形棱镜组件、阶梯棱镜、第一动力机构及用于驱动楔形棱镜组件运动的第二动力机构,所述楔形棱镜组件包括第一棱镜组件和第二棱镜组件;所述第一动力机构用于驱动阶梯棱镜移动以使所述激光光束的焦面位于第一预设位置;所述第二动力机构用于驱动所述第一棱镜组件和第二棱镜组件相对移动以调节所述激光光束的焦面由第一预设位置变为第二预设位置,其中,所述第二预设位置与所述激光成像系统的像面重合。本发明实现了激光成像系统的焦面位置的粗调与微调,在保证焦面位置控制精度的基础上,增大了调焦范围,有效地满足了市场需求。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 多级 调焦 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种多级调焦装置,其特征在于,应用于激光成像系统,所述系统包括激光器,所述多级调焦装置包括:楔形棱镜组件、阶梯棱镜、第一动力机构及用于驱动所述楔形棱镜组件运动的第二动力机构,所述楔形棱镜组件包括第一棱镜组件和第二棱镜组件;所述第一动力机构用于驱动所述阶梯棱镜移动以改变所述激光器发出的激光光束在所述激光成像系统中的光程大小,以使所述激光光束的焦面位于第一预设位置;所述第二动力机构用于驱动所述第一棱镜组件和第二棱镜组件相对移动,以改变所述激光光束在所述激光成像系统中的光程大小,以调节所述激光光束的焦面由所述第一预设位置变为第二预设位置,其中,所述第二预设位置与所述激光成像系统的像面重合。
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