[发明专利]具有垂直传输门的图像传感器及制造其的方法有效
| 申请号： | 201510917461.X | 申请日： | 2015-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN106252366B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 俞景东;黄善夏;黄盛补 | 申请（专利权）人： | 爱思开海力士有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/146 | 分类号： | H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 俞波;许伟群 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种图像传感器。图像传感器可以包括：传输门，形成在第一衬底之上且具有通孔；柱状的外延体，具有填充在通孔中的第一部分以及形成在传输门之上的第二部分；光电转换元件，形成在外延体的第二部分中；以及浮置扩散区，形成在第一衬底中，且接触外延体的第一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 垂直 传输 图像传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种图像传感器，包括：传输门，形成在第一衬底之上，且具有通孔；柱状的外延体，具有填充在通孔中的第一部分以及形成在传输门之上的第二部分；光电转换元件，形成在外延体的第二部分中；以及浮置扩散区，形成在第一衬底中，且接触外延体的第一部分。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
