[发明专利]薄膜压力传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201510915107.3 | 申请日： | 2015-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN105466626B | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 曹勇全;谢锋;谢明 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01L19/04 | 分类号： | G01L19/04 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜压力传感器及其制造方法，薄膜压力传感器包括基座和敏感芯体，基座内设有引压孔，基座和敏感芯体之间还设有用于传递介质压力且阻隔介质温度传递的缓冲组件。制造方法包括以下步骤：S1：按从下到上将基座、密封膜片、带通孔的缓冲主体和敏感芯体固定连接，敏感芯体和密封膜片将通孔围成密封腔；S2：将温度缓冲介质通过引质孔注入密封腔内，并用密封件密封引质孔；S3：对敏感芯体进行引线，得到薄膜压力传感器。该薄膜压力传感器具有受介质温度影响小、耐瞬时温度冲击等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜压力传感器，包括基座（1）和敏感芯体（2），所述基座（1）内设有引压孔（3），其特征在于，所述基座（1）和敏感芯体（2）之间还设有用于传递介质压力且阻隔介质温度传递的缓冲组件；敏感芯体中，惠斯顿电桥直接溅射在弹性不锈钢膜片；所述缓冲组件包括缓冲主体（4）和密封膜片（5），所述缓冲主体（4）开设有通孔，所述敏感芯体（2）固定于所述缓冲主体（4）沿通孔方向的一端，所述密封膜片（5）固定于所述缓冲主体（4）沿通孔方向的另一端，所述敏感芯体（2）和密封膜片（5）将所述通孔围成密封腔（6），所述密封腔（6）充有温度缓冲介质；所述薄膜压力传感器还包括缓冲支架（9），所述缓冲支架（9）设有空腔，所述缓冲主体（4）、密封膜片（5）和敏感芯体（2）均位于所述空腔内，所述缓冲支架（9）靠近密封膜片（5）的一端与所述基座（1）固定连接。
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