[发明专利]一种细晶粒平面钼靶材的生产方法在审
| 申请号： | 201510902253.2 | 申请日： | 2015-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN105483626A | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 淡新国;郭磊;张腾;张清;李长亮;任吉文;邓自南;赵娟 | 申请（专利权）人： | 西安瑞福莱钨钼有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 冯亮 |
| 地址： | 710201 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种细晶粒平面钼靶材的生产方法，该方法为：一、采用粉末冶金烧结制备钼板坯；二、对钼板坯进行8道次以上轧制，得到钼板材，每道次轧制的加热温度为850℃～1000℃；三、对钼板材进行热处理，随炉冷却后得到晶粒尺寸不大于100μm，平均晶粒尺寸为40μm～80μm的细晶粒钼靶材。本发明的方法简单高效，设备来源广泛，对环境无污染，性能可靠，可批量化生产，生产的产品性能稳定可靠，节能高效，可满足各种规格和单重板材的生产。采用本发明的方法生产的平面钼靶材晶粒组织均匀、细小，平均晶粒尺寸为40μm～80μm，最大晶粒尺寸不大于100μm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶粒 平面 钼靶材 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种细晶粒平面钼靶材的生产方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、采用粉末冶金烧结制备钼板坯；所述钼板坯中钼的质量百分含量不小于99.95％，钼板坯的密度为9.6g/cm3～9.8g/cm3，钼板坯的平均晶粒直径为25μm～50μm；步骤二、对步骤一中所述钼板坯进行8道次以上轧制，得到钼板材，每道次轧制的加热温度为850℃～1000℃；步骤三、对步骤二中所述钼板材进行热处理，随炉冷却后得到晶粒尺寸不大于100μm，平均晶粒尺寸为40μm～80μm的细晶粒钼靶材。
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