[发明专利]冷却装置、照明光学系统、曝光装置和制造物品的方法有效
| 申请号： | 201510882884.2 | 申请日： | 2015-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN105700298B | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 昼间健太郎;古泽磨奈人;大阪昇 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/30 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 袁玥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本申请涉及冷却装置、照明光学系统、曝光装置和制造物品的方法，并具体提供一种用于冷却光源单元的冷却装置。冷却装置包括：被设置在来自光源单元的光的路径外面的冷却单元；和被配置为连接光源单元的发热部分与冷却单元的热导管。热导管还用作光源单元的电极线。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 装置 照明 光学系统 曝光 制造 物品 方法 | ||
【主权项】：
1.一种照明光学系统，其特征在于，包括：多个光源单元；以及分别与所述多个光源单元对应的多个冷却装置，其中，所述多个冷却装置中的每一个包含：具有被设置在来自所述多个光源单元中的相应光源单元的光的路径外面的散热器的冷却单元；以及包括具有第一末端和第二末端的导热导管以及在第一末端和第二末端之间的密封于所述导热导管内部的流体的热导管，其中，所述热导管连接部署在所述导热导管的第一末端处的所述相应光源单元的发热部分与部署在所述导热导管的第二末端处的所述散热器并且通过在第一末端和第二末端之间的密封于所述导热导管内部的流体将在所述相应光源单元的所述发热部分处产生的热向所述散热器移动，并且，所述导热导管还用作所述相应光源单元的电极线，其中，所述多个冷却装置的热导管被布置为使得热导管的阴影围绕光轴以恒定间隔径向分布于由所述照明光学系统形成的有效光源分布上。
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