[发明专利]一种低温超声雾化热解沉积锂掺杂立方相SnO2薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种低温超声雾化热解沉积锂掺杂立方相SnO₂薄膜的方法，该方法以氯化亚锡为溶质、无水乙醇与去离子水为溶剂、无机锂盐为掺杂剂混合成溶液，将溶液置于雾化罐中，衬底设置于夹具中，对衬底进行超声雾化热解喷涂，得到沉积于衬底上透过率导电性优良的SnO₂薄膜。锂离子以间隙离子的形式存在于SnO₂晶格间隙中，可提供一个导电电子，提高自由载流子的浓度，提升透明导电薄膜的综合性能。本发明采用高频超声波来雾化前驱溶液，可获得细小、均匀的雾气，通过对垂直衬底夹具的改进，能降低制备所需温度，节约能源，保护加热平台；本发明能在较低压力和较低温度下制备立方相二氧化锡薄膜。

主权项

一种低温超声雾化热解沉积锂掺杂立方相SnO₂薄膜的方法，其特征在于该方法包括以下具体步骤：以氯化亚锡为溶质、无水乙醇与去离子水混合为溶剂、无机锂盐为掺杂剂混合成溶液，将溶液置于雾化罐中，将衬底设于夹具中，对衬底进行超声雾化热解喷涂，得到沉积于衬底上的SnO₂薄膜；其中，所述溶液氯化亚锡的浓度为0.01～0.2M/L，无机锂盐掺杂剂与氯化亚锡的摩尔比为1:10～50；所述超声雾化频率为1.7～3.5MHz，载气流量为10～500mL/min，喷口到衬底的距离为0.5～5cm；衬底设置温度为305+10℃；所述夹具包括加热台、第一夹框、云母隔热层及第二夹框，第一夹框、云母隔热层及第二夹框均为“回”字型，第一夹框与加热台通过螺钉固定，云母隔热层设于第一夹框与第二夹框之间，第二夹框与第一夹框通过螺钉固定，加热台连接有电加热控制器。