[发明专利]基于液滴泰勒锥的微纳电化学沉积加工方法有效
| 申请号： | 201510875474.5 | 申请日： | 2015-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN105420763B | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 刘永红;张彦振;王晓龙;申泱;纪仁杰;蔡宝平 | 申请（专利权）人： | 中国石油大学（华东） |
| 主分类号： | C25D1/00 | 分类号： | C25D1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266580 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于液滴泰勒锥的微纳电化学沉积加工方法，属于微纳制造技术领域。本发明的方法是先将含有被沉积金属离子的液滴置于金属探针与工件之间，探针材料同被沉积材料；探针和工件均浸没在绝缘介质中，该绝缘介质与水不互容；探针和工件分别接直流电源的正极和负极；液滴在电场的作用下在探针与工件之间往复运动；液滴在靠近探针和工件时，液滴表面在电场的作用下形成泰勒锥，利用液滴泰勒锥与探针和工件接触时的电化学作用，把金属探针的金属原子变为金属阳离子进入液滴，再由液滴携带金属阳离子至工件表面，通过该液滴的泰勒锥把金属阳离子传送至工件表面，金属阳离子在工件表面得到电子变为原子而沉积，从而实现微纳电化学沉积加工。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 泰勒 电化学 沉积 加工 方法 | ||
【主权项】：
基于液滴泰勒锥的微纳电化学沉积加工方法，其特征在于：先将含有金属离子的液滴置于金属探针与工件之间；金属探针和工件均浸没在绝缘介质中；探针和工件分别接直流电源的正极和负极，在金属探针和工件间形成电场；液滴在电场的作用下在探针与工件之间往复运动；液滴在靠近探针和工件时，液滴表面在电场的作用下形成泰勒锥，利用液滴泰勒锥与金属探针和工件接触时的电化学作用，把金属探针的金属原子变为金属阳离子进入液滴，再由液滴携带金属阳离子至工件表面，通过该液滴的泰勒锥把金属阳离子传送至工件表面，金属阳离子在工件表面得到电子变为原子而沉积，从而实现微纳电化学沉积加工。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国石油大学（华东），未经中国石油大学（华东）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510875474.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
