[发明专利]一种旋转式球面干涉拼接测量装置及其调整方法在审

专利信息
申请号: 201510871271.9 申请日: 2015-12-02
公开(公告)号: CN105371782A 公开(公告)日: 2016-03-02
发明(设计)人: 于瀛洁;宋琨鹏;汪清泉;齐特;郭红卫 申请(专利权)人: 上海大学
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24
代理公司: 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 代理人: 陆聪明
地址: 200444*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种旋转式球面干涉拼接测量装置,包含计算机、干涉仪、气浮平台、被测球面、被测件调整机构,所述干涉仪和被测件调整机构安放在气浮平台上,所述被测球面安装在被测件调整机构上,所述计算机连接干涉仪,处理干涉仪采集的测量数据,获取被测球面的误差信息;所述被测件调整机构由七自由度调整机构构成,即五个直线移动平台,和两个转动平台,其中五个直线移动平台用于调整被测球面的位置,使干涉仪发出的球面波的焦点和被测球面的球心重合,两个转动平台用于被测球面的旋转,实现拼接测量。本装置可以减小被测球面的调整误差,提高测量精度,通过干涉拼接获取被测球面的完整面形。
搜索关键词: 一种 旋转 球面 干涉 拼接 测量 装置 及其 调整 方法
【主权项】:
一种旋转式球面干涉拼接测量装置,包含计算机(1)、干涉仪(2)、气浮平台(3)、被测球面(4)、被测件调整机构(5),其特征在于:所述干涉仪(2)和被测件调整机构(5)安放在气浮平台(3)上,所述被测球面(4)安装在被测件调整机构(5)上,所述计算机(1)连接干涉仪(2),处理干涉仪(2)采集的测量数据,获取被测球面(4)的误差信息;所述被测件调整机构(5)由七自由度调整机构构成,即五个直线移动平台,和两个转动平台,其中五个直线移动平台用于调整被测球面(4)的位置,使干涉仪(2)发出的球面波的焦点和被测球面(4)的球心重合,两个转动平台用于被测球面(4)的旋转,实现拼接测量。
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