[发明专利]一种超分辨阵列扫描结构光照明成像装置及其成像方法

摘要

一种超分辨阵列扫描结构光照明成像装置及其成像方法，它涉及一种成像装置及其成像方法。本发明为了解决现有技术中的显微成像技术只能测量较薄的生物样品，平行光入射的衍射光受散射效应影响明显，测量效率低的问题。本发明包括LED光源，沿LED光源光线传播方向依次放置光强调制器，准直扩束器，扫描系统，微透镜阵列，准直透镜，分光棱镜，1/4波片，照明物镜，样品，收集透镜，CCD光强探测器以及数据采集卡；每次扫描得到的探测光斑直接在像面进行叠加得到最初的探测数据，每个方向进行三次不同相位照明的扫描，经过图像重构得到超分辨图像。本发明拓宽空间频域带宽，适用于工业形貌及厚生物样品成像的测量领域。

主权项

1.一种超分辨阵列扫描结构光照明成像装置的成像方法，所述成像装置包括LED光源（1），沿LED光源（1）光线传播方向依次放置AOM声光调制器 （2）、准直扩束器（3）、扫描系统（4）、微透镜阵列（5）、准直透镜（6）、分光棱镜（8）、1/4波片（10）、照明物镜（11）、样品（12）、收集透镜（7）、CCD探测器 （9）和数据采集卡，收集透镜（7）与分光棱镜（8）连接，CCD探测器（9）连接收集透镜（7），所述扫描系统（4）包括扫描振镜，扫描振镜改变光束偏转角在样品（12）的物面进行扫描，特征在于以下步骤：步骤一、通过AOM声光调制器（2）对照明光束的光强在时域内进行调制成正弦函数，调制探测面探测灵敏度系数，得到等效扫描照明光场；步骤二、对照明光透过样品并经过物镜再次成像得到探测面上的光强分布，对所述探测面上的光强分布在扫描时间上进行积分，得到样品表面照明光的强度分布；步骤三、对样品表面照明光光强分布进行超分辨图像重构处理，得到清晰图像。