[发明专利]一种吸附装置

摘要

本发明提供了一种吸附装置，包括：吸盘结构，与吸盘结构固定连接的旋转轴结构，以及位于旋转轴结构内部的密封圈结构；吸盘结构包括：与旋转轴结构连接的托盘，位于托盘上的第一吸附部和多个第二吸附部；旋转轴结构包括：旋转轴本体以及套设在旋转轴本体外围的定位装置；旋转轴本体设有与第一吸附部相通第一通道，与第二吸附部相通第二通道，以及与第二通道连通的第三通道；密封圈结构位于旋转轴本体与定位装置之间；密封圈结构包括密封圈本体以及滑环，密封圈本体固定在滑环外围。本发明解决了现有的晶圆吸附装置的旋转连通系统采用普通的O型密封圈容易引起泄露，对设备存在极大的危害性且旋转通道通常设计在侧面导致装置占用空间较大的问题。

主权项

1.一种吸附装置，其特征在于，包括：吸盘结构(1)，与所述吸盘结构(1)固定连接的旋转轴结构(2)，以及位于所述旋转轴结构(2)内部的密封圈结构(4)；所述吸盘结构(1)包括：与所述旋转轴结构(2)连接的托盘(5)，位于所述托盘(5)上的第一吸附部(6)和多个第二吸附部(7)；所述旋转轴结构(2)包括：旋转轴本体(17)以及套设在所述旋转轴本体(17)外围的定位装置(3)；所述旋转轴本体(17)设有与所述第一吸附部(6)相通第一通道(8)，与所述第二吸附部(7)相通第二通道(9)，以及与所述第二通道(9)连通的第三通道(10)；所述第一通道(8)位于所述旋转轴本体(17)的中心，所述第三通道(10)为环形；所述定位装置(3)上设有用于与所述第三通道(10)连通的第四通道(11)，以及用于接通所述第三通道(10)与第四通道(11)的第一开关(12)；所述第一通道(8)、第四通道(11)分别与外界真空气源连通；所述密封圈结构(4)位于所述旋转轴本体(17)与定位装置(3)之间；所述密封圈结构(4)包括密封圈本体(15)以及滑环(16)，所述密封圈本体(15)固定在所述滑环(16)外围；所述旋转轴结构(2)内形成由所述第一通道(8)、第四通道(11)构成的双通道。