[发明专利]钴互连件技术有效
| 申请号： | 201510849444.7 | 申请日： | 2015-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN106356331B | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 李雅玲;杨文成;卢一斌 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/768 | 分类号： | H01L21/768;H01L23/532 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明的一些实施例涉及一种制造集成电路器件的方法。在该方法中，在衬底上方形成介电层。介电层包括布置在介电层内的开口。沿着开口的底部和侧壁表面形成第一钴衬垫。在第一钴衬垫的暴露的表面上形成阻挡衬垫。在开口中并且在阻挡衬垫上方形成块状钴层以填充开口的剩余空间。本发明实施例涉及钴互连件技术。 | ||
| 搜索关键词： | 互连 技术 | ||
【主权项】：
一种制造集成电路器件的方法，包括：在衬底上方形成介电层，其中，所述介电层包括布置在所述介电层内的开口；沿着所述开口的底部和侧壁表面形成第一钴衬垫；在所述第一钴衬垫的暴露的表面上形成阻挡衬垫；以及在所述开口中并且在所述阻挡衬垫上方形成块状钴层以填充所述开口的剩余空间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
