[发明专利]气体纯化器使用寿命的监测方法及其装置

摘要

本发明特别涉及一种气体纯化器使用寿命的监测方法及其装置。气体经流量计测得气体流量F后，进入纯化器反应罐，纯化后的气体由出气口流出，应变片测得罐体应变ε，温度传感器测得纯化器反应罐外表面或内部温度T，压力传感器测得出口压力P，气体流量F、罐体应变ε、温度T和压力P传入控制单元，根据实时温度T和压力P对实测罐体应变ε修正，获得真实应变εR，根据流量F与真实应变εR，由控制单元监测寿命，并向寿命指示器输出指示信号。本发明能够以较低的成本实现纯化器使用寿命实时监测，不受或可控受到使用压力和流量等工作条件的影响，并且可普遍适用于He、Ne、Ar、Kr、Xe、N2、H2等气体纯化器的使用寿命监测。

主权项

一种气体纯化器使用寿命的监测方法，纯化器反应罐(2)上设有杂质气体进口和纯化气体出口，杂质气体进口处设有用于测量气体流量F的流量计(1)，纯化气体出口处设有用于测量压力P的压力传感器(5)，纯化器反应罐(2)上设有用于测量纯化器反应罐(2)外表面或内部温度T的温度传感器(4)和用于测量罐体应变ε的应变片(3)；流量计(1)、压力传感器(5)、温度传感器(4)和应变片(3)连接至控制单元(6)，控制单元(6)收集并处理气体流量F、罐体应变ε、温度T、压力P信号，最后将使用寿命信号输出至寿命指示器(7)；纯化器反应罐(2)内部装有合金填料(2‑2)，纯化器反应罐(2)上还设有加热装置(8)；其特征在于，通过监测罐体应变ε，并根据温度T和压力P修正得到真实应变εR，杂质气体临界吸附容量Cc对应临界应变εc，控制单元(6)根据εR‑C曲线，将真实应变εR与临界应变εc进行对比，判断纯化器是否达到使用寿命上限，并向寿命指示器(7)输出相应信号。