[发明专利]一种微流路芯片系列微器件的结构

摘要

本发明公开一种微流路芯片系列微器件的结构，包括一个气体通道和至少一个液体通道，气体通道和各液体通道之间通过微通道连通；所述微器件为液体压力感受器，包括一个气体通道和一个液体通道，气体通道的一端接气体，气体通道的另一端通过逐渐变窄的微通道和液体通道的一端连通，液体通道的另一端接液体。本发明由芯片内部的压力数字化的气体微线路控制，利用微孔来阻隔气相和液相，没有任何活动部件，也无需任何特殊的透气或弹性的材料，由气——液两相的压力差来驱动气——液界面从而使微器件实现其传感压力、开关流路、液体有效动力输送等功能，可在硬质材料（如玻璃）上一次蚀刻成型，便于低成本集成大量的微器件。

主权项

一种微流路芯片系列微器件的结构，其特征在于：所述微器件为液体压力感受器，包括一个气体通道和一个液体通道，气体通道的一端接气体，气体通道的另一端通过逐渐变窄的微通道和液体通道的一端连通，液体通道的另一端接液体，所述逐渐变窄的微通道为三角形微通道，且微通道窄的一端为一小孔。