[发明专利]一种基于可变形镜的准万能补偿镜及设计方法

摘要

本发明为一种基于可变形镜的准万能补偿镜及设计方法，用于激光干涉检测自由曲面表面形貌，属于光电检测领域。该补偿镜由第一级补偿器、第二级补偿器组成。该设计方法，首先利用初级赛德尔像差公式计算被测自由曲面的低阶像差，采用像差匹配和近轴公式算法计算可以得到第一级补偿器的参数；之后使用软件建立折反式系统，利用第二级补偿器尽可能补偿剩余的高阶像差。本设计中将可变形镜作为第二级补偿器，引入到自由曲面表面面形检测中，可以实现同一补偿器检测多种自由曲面，在很大程度上降低补偿器的设计难度和加工费用。同时该补偿检测方法结构简单，引入的误差源少，易于前期的校准调整，可以实现瞬时、高精度的面形测量。

主权项

一种基于可变形镜的准万能补偿镜系统，其特征在于：包括CCD探测器、成像物镜、准直激光、分光镜、参考镜、第一级补偿器、第二级补偿器、待测自由曲面；其中，第一级补偿器由透镜或透镜组组成，用于补偿低阶像差，第二级补偿器是可变形镜，用于补偿剩余高阶像差。系统的光路为：准直激光经过参考镜，反射光形成参考光，透射光经第一级补偿器‑第二级补偿器‑待测自由曲面‑第二级补偿器‑第一级补偿器后第二次经过参考镜，与参考光形成干涉条纹，在1‑CCD探测器处进行观测。