[发明专利]一种对准光栅组及其光栅的制作方法在审
| 申请号： | 201510799756.1 | 申请日： | 2015-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN105242502A | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 王亮;秦金;丁立 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种对准光栅组，包括：设置于模板上的第一光栅和设置于晶圆上的第二光栅，所述第一光栅与所述第二光栅相对设置；所述第一光栅的光栅底部覆盖折射层，所述折射层的折射率大于1.5。提高了所述光栅组的衍射效率，增大所述第一光栅和所述第二光栅对准时产生的莫尔条纹的对比度，从而易于判断对准光栅的对准程度，提高了所述对准光栅组的对准精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对准 光栅 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种对准光栅组，其特征在于，包括：设置于模板上的第一光栅和设置于晶圆上的第二光栅，所述第一光栅与所述第二光栅相对设置；所述第一光栅的光栅底部覆盖折射层，所述折射层的折射率大于1.5。
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