[发明专利]一种隔断式MEMS引信

摘要

一种隔断式MEMS引信，包括药剂层，药剂层上部和药剂盖板层通过键合的方式连接，药剂层下部和安保装置层上部通过键合的方式连接，安保装置层下部和加速膛层黏贴，安保装置层包括硅衬底层，二氧化硅层以及可动硅结构层依次制作在硅衬底层上，在可动硅层中制作有四组驱动器，每组驱动器的右、左金属电极分别制作在右、左锚点上，呈阵列的V型热电执行器的两端分别与左、右锚点相连，杠杆的首端通过右柔性梁与中间臂相连，下锚点通过左柔性梁与杠杆的首端相连，隔板位于杠杆的末端并且制作有互锁槽与互锁齿，与相邻隔板对应的互锁齿及互锁槽形成互锁，本发明将MEMS技术应用到引信，具有低成本、高智能、易集成的特点。

主权项

一种隔断式MEMS引信，其特征在于：包括药剂盖板层(Ⅰ)、药剂层(Ⅱ)、安保装置层(Ⅲ)以及加速膛层(Ⅳ)，药剂层(Ⅱ)上部和药剂盖板层(Ⅰ)通过键合的方式连接，药剂层(Ⅱ)下部和安保装置层(Ⅲ)上部通过键合的方式连接，安保装置层(Ⅲ)下部和加速膛层(Ⅳ)黏贴；所述的安保装置层(Ⅲ)包括硅衬底层(3)，在硅衬底层(3)中心处制作有通孔(4)，二氧化硅层(2)以及可动硅结构层(1)依次制作在硅衬底层(3)上，在可动硅结构层(1)中制作有以通孔(4)为中心对称的四组驱动器，每组驱动器包括右锚点(6)与左锚点(9)，右金属电极(5)与左金属电极(10)分别制作在右锚点(6)与左锚点(9)上，呈阵列的V型热电执行器(8)的两端分别与左锚点(9)与右锚点(6)相连，中间臂(7)位于V型热电执行器(8)的中点，杠杆(14)的首端通过右柔性梁(13)与中间臂(7)相连，下锚点(11)制作在右柔性梁(13)的左边并通过左柔性梁(12)与杠杆(14)的首端相连，隔板(15)位于杠杆(14)的末端并且制作有互锁槽(16)与互锁齿(17)，互锁槽(16)与互锁齿(17)与相邻隔板对应的互锁齿及互锁槽形成互锁；左锚点(9)、右锚点(6)以及下锚点(11)与二氧化硅层(2)相连，其余部分均为悬空可动结构。