[发明专利]真空室、用于运行真空室的方法和用于运行真空处理设备的方法在审
| 申请号： | 201510772568.X | 申请日： | 2015-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN105603381A | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 罗尼·博切尔;克里斯托夫·豪斯勒 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 杨生平;钟锦舜 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及真空室、用于运行真空室的方法和用于运行真空处理设备的方法。根据不同的实施形式，真空室(100)可以至少具有如下部件：至少一个第一处理区域(101p)和至少一个第二处理区域(103p)；用于将要处理的衬底(220)至少从所述第一处理区域(101p)运输到第二处理区域(103p)中的运输装置；设置在第一处理区域(101p)与第二处理区域(103p)之间的气体隔离结构(104)；以及设置在第一处理区域(101p)与第二处理区域(103p)之间的气体引导部(104z)，用于将惰性气体(114)导入所述气体隔离间隙(104g)中。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 用于 运行 方法 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种真空室(100)，具有：至少一个第一处理区域(101p)和至少一个第二处理区域(103p)；在所述第一处理区域(101p)与所述第二处理区域(103p)之间设置的气体隔离室(304)；用于将要处理的衬底(220)在运输方向(101t)上沿着运输平面(101e)至少从所述第一处理区域(101p)穿过气体隔离室(304)运输到第二处理区域(103p)中的运输装置；设置在气体隔离室(304)中的气体隔离结构(104)，所述气体隔离结构具有平行于运输平面(101e)延伸的第一板状元件(404p)和横向于运输方向(101t)延伸的第二板状元件(404v)，其中所述气体隔离结构(104)借助第一板状元件(404p)形成在所述气体隔离结构(104)与借助所述运输装置运输的要处理的衬底(220)之间的气体隔离间隙(104g)，使得阻止气体粒子从这两个处理区域(101p，103p)中的一个处理区域穿过气体隔离间隙(104g)扩散到这两个处理区域(101p，103p)中的另一个处理区域中，并且其中所述气体隔离结构(104)借助第二板状元件(404v)将气体隔离室(304)在所述气体隔离间隙(104g)之上的区域隔离成两个泵出区域(508p，510p)；设置在所述气体隔离室(304)中的气体引导部(104z)，用于将惰性气体(114)导入所述气体隔离间隙(104g)中；以及与所述气体隔离室(304)耦接的泵装置(520)，所述泵装置接入这两个泵出区域(508p，510p)，其中所述气体隔离结构(104)设置为，使得穿过这两个泵出区域(508p，510p)到所述气体隔离间隙(104g)进行泵接入，用于将导入的惰性气体从气体隔离间隙(104g)泵出。
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