[发明专利]波长快速调谐的单片集成外腔振荡激光器在审
| 申请号： | 201510716757.5 | 申请日： | 2015-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN105207057A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 叶彤;储涛;付云飞;唐伟杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/14 | 分类号： | H01S5/14;H01S5/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种波长快速调谐的单片集成外腔振荡激光器，激光器包含增益区、频率调谐区和谐振腔；增益区是一种光放大器，和频率调谐区的光耦合可以通过键合材料、光栅对准、模斑转换器或波导直接对准等方式实现；频率调谐区包含若干个微环和马赫一增德尔干涉结构，利用马赫一增德尔干涉结构的半导体材料的载流子色散效应或电光效应实现谐振频率的快速切换，同时利用微环的热光效应实现谐振频率的稳定；谐振腔由增益区的一端和频率调谐区共同构成。该设计方案相比以往的可调激光器，具有宽调谐范围和低于微秒级的频率切换时间，并且在结构上更加利于集成。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 快速 调谐 单片 集成 振荡 激光器 | ||
【主权项】：
一种波长快速调谐的单片集成外腔振荡激光器，激光器包含增益区、频率调谐区和谐振腔，谐振腔由增益区的一端和频率调谐区共同构成；其特征在于，频率调谐区包含微环和马赫‑增德尔干涉光学结构，其中微环实现稳定频率的功能，保证通过的光波频率稳定在固定的一组值上；马赫‑增德尔干涉光学结构通过电光调节，以PIN结中载流子的扩散，快速地改变干涉相长的峰值频率；热调节微环和电调节马赫‑增德尔干涉光学结构的频谱叠加，选出不同的谐振频率。
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