[发明专利]红外激光光谱痕量水汽检测系统及其检测方法在审
| 申请号： | 201510716183.1 | 申请日： | 2015-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN105203460A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 张玉钧;高彦伟;陈东;何莹;尤坤;高闽光;李宏斌;高乾坤;王立明;刘文清;刘建国 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/39 |
| 代理公司： | 合肥诚兴知识产权代理有限公司 34109 | 代理人： | 汤茂盛 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明属于气体浓度检测技术领域，具体涉及一种红外激光光谱痕量水汽检测系统及其检测方法，本发明采用双吸收池结构，通过检测光路与参考光路的光谱信号差分对消，消除高浓度背景气体光谱和吸收池外环境水汽的影响，抑制光学系统共模噪声，实现高浓度工业气体中痕量水汽的高灵敏检测。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 激光 光谱 痕量 水汽 检测 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种红外激光光谱痕量水汽检测系统，其特征在于：包括红外半导体激光器(1)，所述红外半导体激光器(1)发出的光束经分束器(4)分束成光强比例为1:1的检测光和参考光，所述检测光和参考光分别入射到检测吸收池(8)和参考吸收池(17)，所述检测吸收池(8)和参考吸收池(17)为光程相同的两个多次反射光学吸收池，所述检测吸收池(8)设有进气口(7)和出气口(9)，检测样气通过进气口(7)进入吸收池，并由出气口(9)流出，所述参考吸收池(17)中密封有一个大气压的与检测样器的背景气体种类相同的高纯标准气体，检测光和参考光通过吸收池后，分别由第一光电探测器(12)和第二光电探测器(18)进行光电转换，并将信号发送至信号采集处理模块(21)得到检测光谱信号和参考光谱信号；系统还包括信号发生电路(3)和半导体激光器控制模块(2)，所述信号发生电路(3)分别向半导体激光器控制模块(2)和信号采集处理模块(21)输出锯齿波信号，所述半导体激光器控制模块(2)将该锯齿波信号与红外半导体激光器(1)的激光器驱动电流叠加，实现输出波长在设定波长范围内周期性连续扫描。
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