[发明专利]一种腔体进气流速调节装置

摘要

本发明涉及一种进气流速调节装置，具体是在一种半导体制造中，可随腔体进气流量的变化而改变进气速度的调节装置。该装置可调节进气流速，可使进气速度随着进气量增加而减小。该装置包括气缸进气管、压力调节阀、小孔挡片、气缸、活塞、弹簧、活塞杆、连杆、阀体、阀片杆、阀片及进气管，分别组成气缸执行部分和阀体部分。进气量的增加可改变活塞位移，活塞杆通过连杆、阀片杆使阀片转动，阀片的转动可调节进气的流动速度。当腔体内气体排放或被抽出，腔体内气压稳定后，活塞及阀片可回到初始位置。所述装置可使腔体进气速度变化平缓，使进气量容易控制，进气过程时间缩短，提高设备产能。

主权项

一种腔体进气流速调节装置，其特征在于：它包括气缸进气管、压力调节阀、小孔挡片、气缸、活塞、弹簧、活塞杆、连杆、阀体、阀片杆、阀片及进气管，所述阀片安装于阀体内，并可在阀体内绕着阀体上销轴转动，所述阀片与阀片杆连接固定，所述进气管与阀体进气端连接，气缸进气管两端分别于进气管和气缸连接，气缸内设有活塞，活塞与活塞杆连接固定，所述弹簧位于气缸内，一端与活塞接触，另一端与气缸内端面接触，所述小孔挡片安装于气缸内，位于气缸进气管的接口一侧，其边缘可与气缸内壁接触密封，当缸内气压小于一定值时，压力调节阀关闭，当缸内气压大于一定值时，压力调节阀打开，气体可从气缸中排出。所述连杆两端分别通过销轴与活塞杆和阀片杆连接，活塞在气缸中的运动可通过活塞杆带动连杆运动，连杆通过阀片杆可使阀片在一定范围内转动。。进气管与供气设备连接，阀体出气端与腔体进气口连接。