[发明专利]光电设备及其方法

摘要

光电设备及其方法。一种用于测量线性位移的包括相对于彼此位移的两个元件(1、2)的光电设备，以及一种用于确定所述光电设备中的至少一个旋转角度的方法。第二元件(2)照射第一元件(1)的反射表面，并且在接收区中接收从所述表面(10)反射的光的至少部分。设备(100)包括具有不同光透射特性的连续部分区域的窗口(4)，并且在接收区中接收之前，使用于照射反射表面(10)而发射的光穿过所述窗口。将在接收区中生成的光强分布与光强分布图案进行比较来确定两个元件(1、2)之间的俯仰角度(α)。

主权项

一种用于测量线性位移的光电设备，该光电设备包括第一元件(1)、相对于所述第一元件(1)在测量方向(X)上能线性位移的第二元件(2)以及用于确定两个元件(1、2)之间的相对位置的控制装置(3)，所述第二元件(2)包括用于照射所述第一元件(1)的镜面反射表面(10)的发射装置(20)和用于接收从所述反射表面(10)反射的光的至少部分的接收区(21)，所述光电设备的特征在于，所述光电设备(100)还包括布置在所述发射装置(20)与所述接收区(21)之间的光路中的窗口(4)，且所述窗口(4)包括具有不同光透射特性的连续部分区域(40a、40b)的干扰区(40)，所述控制装置(3)适于将从用于照射所述第一元件(1)的所述反射表面(10)而发射的并且穿过所述窗口(4)的光在所述接收区(21)中生成的光强分布与预定光强分布图案进行比较，并且适于根据所述比较的结果来确定两个元件(1、2)之间的俯仰角度(α)。