[发明专利]热式气体质量流量计

摘要

本发明涉及一种热式气体质量流量计，其解决了现有热式气体质量流量计响应速度慢、量程比小、反应时间长、精度低的技术问题，其包括测量杆，测量杆上设有传感器，传感器包括衬底，衬底上设有长方形测温薄膜和L形加热薄膜，长方形测温薄膜位于L形加热薄膜的内侧；衬底上除长方形测温薄膜和L形加热薄膜的其它位置设有隔热层，其可广泛应用于流量测量技术领域。

主权项

1.一种热式气体质量流量计，包括测量杆，其特征在于，所述测量杆上设有传感器，所述传感器包括衬底，所述衬底上设有长方形测温薄膜和L形加热薄膜，所述长方形测温薄膜位于所述L形加热薄膜的内侧；所述衬底上除所述长方形测温薄膜和L形加热薄膜的其它位置设有隔热层；所述热式气体质量流量计还包括信号处理模块，所述信号处理模块与所述传感器连接，所述信号处理模块用于将所述传感器输出的信号进行放大和转换；所述信号处理模块包括桥路电路和信号转换电路；所述桥路电路包括OP177运算放大器、MPSAO5三极管、第一电阻、第二电阻、第四电阻、第五电阻、第六电阻、第七电阻、第八电阻、第九电阻、3296电位器，所述第一电阻、第二电阻、3296电位器、第四电阻和所述长方形测温薄膜依次串联后接地，所述OP177运算放大器的正相输入端与所述3296电位器连接，所述MPSAO5三极管的集电极与所述第一电阻连接；所述MPSAO5三极管的发射极与所述第六电阻的一端连接，所述第六电阻的另一端与所述L形加热薄膜的一端连接，所述L形加热薄膜的另一端接地；所述第六电阻和所述L形加热薄膜之间的节点与所述OP177运算放大器的反相输入端连接；所述第一电阻和第二电阻之间的节点与所述MPSAO5三极管的发射极连接，所述MPSAO5三极管的基极通过所述第七电阻与所述OP177运算放大器的输出端连接，所述第八电阻连接于所述OP177运算放大器的输出端与反相输入端之间，所述第一电阻和第二电阻之间的节点与所述第五电阻的一端连接，所述第五电阻的另一端与所述第九电阻的一端连接，所述第九电阻的另一端接地；所述信号转换电路包括仪表放大器芯片AD620、第一运算乘法器芯片AD633、第二运算乘法器芯片AD633、A/D转换芯片AD7705BR、MSP430芯片和第十二电阻，所述第五电阻和第九电阻之间的节点与所述仪表放大器芯片AD620的第3管脚连接，所述仪表放大器芯片AD620的第6管脚与所述第一运算乘法器芯片AD633的第1管脚连接，所述第一运算乘法器芯片AD633的第5管脚与所述第二运算乘法器芯片AD633的第1管脚连接，所述第二运算乘法器芯片AD633的第5管脚通过第十二电阻与所述A/D转换芯片AD7705BR的第6管脚连接，A/D转换芯片AD7705BR的第13管脚与MSP430芯片的P5.1管脚连接。