[发明专利]一种变容二极管管芯及其制备方法有效
| 申请号： | 201510683857.2 | 申请日： | 2015-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN105244382B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 张淑云 | 申请（专利权）人： | 天津天物金佰微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/93 | 分类号： | H01L29/93;H01L21/329;H01L29/06 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 李莉华 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种变容二极管管芯及其制备方法，所述管芯上具有两层钝化层，第一钝化层位于PN结与银台电极之间，但不完全阻隔PN结与银台电极的接触，第二钝化层覆盖在所述管芯的最上层。本发明的有益效果是常温反向击穿电压漂移蠕变得到极大改善；依据本发明所制备的器件常温反向漏电流值减小，性能参数得到了提高；器件在高温150℃下，经过时间48h反偏后，在高温状态下进行测试，其反向漏电流值及离散性减小，高温漏电流达到了小于30nA的优良指标要求；高温150℃下，经过时间48h反偏后恢复到常温测试其反向击穿电压与反偏前初始值的变化量减小，反向击穿电压变化量与初始值百分比减小，器件的高温性能参数提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 变容二极管 管芯 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种变容二极管管芯，其特征在于：所述管芯上具有两层钝化层，第一钝化层位于PN结与银台电极之间，但不完全阻隔PN结与银台电极的接触，第二钝化层覆盖在所述管芯的最上层。
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