[发明专利]一种蓝宝石抛光组合物及其制备方法在审
申请号: | 201510670609.4 | 申请日: | 2015-10-16 |
公开(公告)号: | CN105199610A | 公开(公告)日: | 2015-12-30 |
发明(设计)人: | 代克;王乐军;徐明艳;周万里 | 申请(专利权)人: | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02 |
代理公司: | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人: | 时立新;周闯 |
地址: | 450001 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明属于一种蓝宝石抛光组合物及其制备方法,所述蓝宝石抛光组合物由下述重量百分含量的原料组成:纳米二氧化硅20%~40%、碱性化合物1%~10%、分散剂0.1%~3%、表面活性剂0.1%~3%、腐蚀抑制剂0.001%~1%、余量为去离子水。本发明通过加入腐蚀抑制剂减少了在高温高压下抛光组合物对蓝宝石晶片的过度腐蚀,使表面不产生麻点和橘皮等过度腐蚀的缺陷,同时引入和腐蚀抑制剂协同作用的表面活性剂,增加抛光组合物的腐蚀选择性,让抛光组合物均匀作用在蓝宝石晶片的表面,实现了在高效抛光的同时得以保证完好的表面质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 抛光 组合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石抛光组合物,其特征在于,由下述重量百分含量的原料组成:纳米二氧化硅20%~40%、碱性化合物1%~10%、分散剂0.1%~3%、表面活性剂0.1%~3%、腐蚀抑制剂0.001%~1%、余量为去离子水。
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