[发明专利]一种用于直写式光刻机图形发生器的凹四边形FPGA硬件填充方法

摘要

本发明涉及一种用于直写式光刻机图形发生器的凹四边形FPGA硬件填充方法，与现有技术相比解决了无法针对凹四边形进行填充作业的缺陷。本发明包括以下步骤数据预处理，获取顶点坐标信息，针对顶点进行坐标连线，画出四边形的四条边；数据录入，针对四条边建立四个边存储器，将四条边的坐标值信息分别存储至相应的边存储器中；填充区域的确定，对四个边存储器均以Ymin为起始地址进行同步遍历填充处理，处理结束后四个边存储器均对Ymin+1进行遍历填充处理，直至读地址为Ymax。本发明能够直接对凹四边形进行填充。

主权项

一种用于直写式光刻机图形发生器的凹四边形FPGA硬件填充方法，其特征在于，包括以下步骤：11)数据预处理，获取顶点坐标信息，针对顶点进行坐标连线，画出四边形的四条边；所述的数据预处理包括以下步骤：111)定义四边形所在帧区域大小为M*N，获取已知的四个顶点A(x1,y1)、B(x2,y2)、C(x3,y3)、D(x4,y4)；112)针对四个顶点A、B、C、D画出四条边，获取到每条边上的x、y值；113)以y值为基准，对每条边上同一y值所对应的x值的最大值和最小值进行合并记录，记录为Xall＝(Xmin，Xmax)；114)计算出四个顶点A(x1,y1)、B(x2,y2)、C(x3,y3)、D(x4,y4)中Y坐标的最大值Ymax、最小值Ymin；12)数据录入，针对四条边建立四个边存储器，将四条边的坐标值信息分别存储至相应的边存储器中；13)填充区域的确定，对四个边存储器均以Ymin为起始地址进行同步遍历填充处理，处理结束后四个边存储器均对Ymin+1进行遍历填充处理，直至读地址为Ymax；其遍历填充处理包括以下步骤：131)以Ymin为起始地址读取边存储器里的值，若读出的值为0，则表示该边存储器对应的那条边与当前Y值没有交点；若读出的值为非0，则表示该边存储器对应的那条边与当前Y值存在交点，将其记录；132)若某一Y值与四条边都存在交点，则该四边形为凹四边形，读出的这四条边的X值求出这四个交点Xa、Xb、Xc、Xd；对Xa、Xb、Xc、Xd进行升序排列；将Xa与Xb之间和Xc与Xd之间均填充为1，其余为0，并将填充结果存储到帧处理器；133)若某一Y值与两条边都存在交点，读出的这两条边的X值求出Xa和Xb，将Xa与Xb之间填充为1，其余为0，并将填充结果存储到帧处理器。