[发明专利]一种用于单晶炉的出料系统在审
| 申请号: | 201510659171.X | 申请日: | 2015-10-13 |
| 公开(公告)号: | CN105332062A | 公开(公告)日: | 2016-02-17 |
| 发明(设计)人: | 潘清跃;王平 | 申请(专利权)人: | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 213200 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种用于单晶炉的出料系统,包括X向料棒输送装置、Y向平移机构、Z向升降机构、支架和料棒存放机构,所述的料棒存放机构连接在支架上,所述的支架位于X向料棒输送装置的上方,所述支架的两端通过Y向平移机构与Z向升降机构相连,所述的X向料棒输送装置包括料棒输送平台、X向平移小车和两条X向设置的第一轨道,所述的料棒输送平台上开设四条料槽,所述的料棒输送平台通过X向平移小车活动连接在两条X向设置的第一轨道上。本设计通过料棒存放机构把单晶硅晶棒自动放入料棒输送平台的料槽内,然后由料棒输送平台把单晶硅晶棒输送出去,大大提高了单晶硅晶棒的出料效率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 用于 单晶炉 系统 | ||
【主权项】:
一种用于单晶炉的出料系统,其特征在于:包括X向料棒输送装置、Y向平移机构、Z向升降机构、支架(1)和料棒存放机构,所述的料棒存放机构连接在支架(1)上,所述的支架(1)位于X向料棒输送装置的上方,所述支架(1)的两端通过Y向平移机构与Z向升降机构相连,所述的X向料棒输送装置包括料棒输送平台(3)、X向平移小车和两条X向设置的第一轨道(9),所述的料棒输送平台(3)上开设四条料槽(4),所述的料棒输送平台3通过X向平移小车活动连接在两条X向设置的第一轨道上。
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